VTI,CLP-6,CLP-7,CLP-8,CLP-9,CLP-10,CLP-11,CLP-12,CLP氦氣滲透式標準漏孔,泄露檢測器,VTI CLP系列是專為氦質譜檢漏儀和超高真空系統設計的高精度標準器具，同時可作為次級標準用于傳遞校準其他氦漏孔。
CLP型氦氣滲透式標準漏孔
產品概述
VTI CLP系列是專為氦質譜檢漏儀和超高真空系統設計的高精度標準器具，同時可作為次級標準用于傳遞校準其他氦漏孔。該系列采用玻璃滲透元件與全不銹鋼焊接結構，具有以下核心特征：
- 超寬量程覆蓋：10??~10?12 atm·cc/sec（行業唯一實現10?1?~10?12級超低漏率的標準漏孔）
- 全金屬截止閥：支持350℃高溫烘烤（滿足UHV工況）
- 永不堵塞設計：消除毛細管結構常見的顆粒堵塞風險
技術規格
| 特性 | 技術說明 |
|---|---|
| 穩定性 | 滲透元件衰減速率極低，可保持多年精度 |
| 量程范圍 | 10??~10?12 atm·cc/sec（支持定制） |
| 真空兼容性 | 全金屬結構適配10?? Pa超高真空環境 |
| 操作便捷性 | 即插即用，無需專業培訓 |
| 認證體系 | 提供NIST可溯源+A2LA認證的校準證書 |
行業應用
- 航天器密封測試系統量值傳遞
- 半導體設備氦檢漏儀在線校準
- 核電站一回路泄漏監測基準建立
技術優勢
- 與毛細管漏孔的對比：
- 滲透式結構徹底規避毛細管堵塞風險
- 超低漏率段（<10?1?）精度提升3個數量級
- 校準服務：
- 每個漏孔附帶壓力-溫度-漏率三維修正系數表
- 支持氦氣/氬氣雙氣體校準（選配）
注意事項
- 工作溫度范圍：-20℃~80℃（超出范圍需啟用溫度補償算法）
- 禁止接觸腐蝕性氣體（HF、Cl?等）
https://zhuanlan.zhihu.com/p/1888276490417848517
