WaferPro,熔融石英晶圓,紫外級熔融石英,光學級熔融石英,全光譜熔融石英,“熔融石英”或“熔融硅石”是石英（SiO?）的非晶態(tài)形式。與硼硅酸鹽玻璃相比，熔融石英不含任何添加劑，因此以純凈的 SiO? 形式存在。與普通玻璃相比，熔融石英在紅外和紫外光譜范圍內(nèi)具有更高的透射率。
熔融石英晶圓
“熔融石英”或“熔融硅石”是石英（SiO?）的非晶態(tài)形式。與硼硅酸鹽玻璃相比，熔融石英不含任何添加劑，因此以純凈的 SiO? 形式存在。與普通玻璃相比，熔融石英在紅外和紫外光譜范圍內(nèi)具有更高的透射率。熔融石英是通過熔化和再固化超純 SiO? 制成的。而合成熔融石英則是通過硅含量豐富的化學前驅(qū)體（如 SiCl?）在 H? + O? 氣氛中氣化并氧化制成的。在此過程中形成的 SiO? 粉塵會在基底上熔合成石英。熔融石英塊被切割成晶圓后，最終進行拋光。
熔融石英晶圓的類型
WaferPro?提供由以下基底材料制成的高質(zhì)量熔融石英玻璃晶圓：
- 紫外級熔融石英 – JGS1
紫外級熔融石英晶圓在紫外光譜范圍內(nèi)具有高透明度。在可見光（VIS）和紫外光（UV）范圍內(nèi)的透射率約為 90%，僅在 220 至 150 nm 之間因反射損失而降至 0%。在紅外范圍內(nèi)，通常較高的 OH 濃度（約 1000 ppm）會導致波長 > 1.2 μm 的吸收帶。 - 光學級熔融石英 – JGS2
與 JGS1 晶圓相比，價格顯著較低的 JGS2 晶圓的透射范圍向長波長方向偏移。在這種情況下，紫外吸收開始于約 270 nm 波長以下，而在可見光和紅外范圍內(nèi)，由于較低的 OH 濃度（通常 < 300 ppm），透射率在約 2 μm 波長內(nèi)保持在約 90%。 - 全光譜熔融石英 – JGS3
這些晶圓相對更昂貴。它們具有極低的 OH 含量（通常 < 10 ppm），在約 200 nm – 3 μm 的寬光譜范圍內(nèi)表現(xiàn)出 > 80% 的高透明度，在 250 – 2.5 μm 波長范圍內(nèi)的透射率約為 90%。
熔融石英晶圓的主要應用
光掩模
熔融石英晶圓用于制造光掩模，具有高光學透明度，適用于半導體制造中的光刻工藝。
光學
熔融石英用于制造高精度光學元件，如透鏡、棱鏡、濾光片、非球面鏡和衍射元件。
光纖
熔融石英是制造光纖的主要材料。
MEMS與傳感器
熔融石英晶圓作為基底材料用于制造MEMS器件（如加速度計）、光學傳感器和生物傳感器。
光子學
特種熔融石英晶圓具有嚴格規(guī)格，可用于制造光子器件，如波導和集成光學電路。
半導體承載/仿真晶圓
超光滑的熔融石英晶圓可作為承載晶圓，支持器件晶圓在背面研磨過程中使用，也可作為工藝設(shè)備中的仿真晶圓。
高可靠性電子產(chǎn)品
熔融石英具有優(yōu)異的絕緣性和出色的熱/機械穩(wěn)定性，適用于航空航天和國防系統(tǒng)。
醫(yī)療器械
微型光學和微流控系統(tǒng)利用熔融石英，可用于芯片實驗室醫(yī)療診斷設(shè)備。
激光技術(shù)
熔融石英具有高激光損傷閾值，適用于超快激光系統(tǒng)。
我們的加工能力
| 尺寸 | 英寸 | 2″ | 3″ | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 直徑 | mm | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| 公差 (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 厚度 | μm | ≥100 | ≥100 | ≥100 | ≥300 | ≥400 | ≥500 | ≥500 |
| 基準平邊 | mm | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | 半切口 | 半切口 | 半切口 |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| 彎曲度 | μm | ±20 | ±20 | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| 翹曲度 | μm | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5mm×5mm) <0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| 邊緣圓角 | mm | SEMI 標準 | SEMI 標準 | SEMI 標準 | SEMI 標準 | SEMI 標準 | SEMI 標準 | SEMI 標準 |
| 表面類型 | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | |
| 表面粗糙度 | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
我們的暢銷產(chǎn)品
http://ydzhly.com/waferpro-wafers/WaferPro,熔融石英晶圓,紫外級熔融石英,光學級熔融石英,全光譜熔融石英/
https://zhuanlan.zhihu.com/p/1886389327690449363
