韓國Wooil Flucon,超聲波流量計(jì),FW1510,低流量特氟龍流量計(jì)
濕部件和流量計(jì)主體由PFA或PVC制成,錐形管采用硼硅酸鹽玻璃構(gòu)造。是去離子水、氣體和化學(xué)工藝中的最佳中型流量計(jì)
中流量范圍可達(dá)3~10 LPM
- 內(nèi)置控制閥:便于流量的調(diào)節(jié)與控制。
- 強(qiáng)化學(xué)耐腐蝕性:材質(zhì)選擇確保了流量計(jì)能抵抗多種化學(xué)物質(zhì)的侵蝕。
- 流量液位傳感器報(bào)警:當(dāng)流量達(dá)到預(yù)設(shè)閾值時(shí),會(huì)自動(dòng)觸發(fā)報(bào)警。
- 面板安裝靈活:支持正面和反面安裝,滿足多樣化的安裝需求。
- 寬流量范圍可選:可根據(jù)客戶需求提供不同流量范圍的流量計(jì)。
- 清潔室超聲波去離子水清洗及真空包裝:在清潔室內(nèi)進(jìn)行專業(yè)清洗和包裝,確保產(chǎn)品潔凈度。
- 在100級(jí)清潔室內(nèi)組裝:在嚴(yán)格控制的無塵環(huán)境中組裝,保證產(chǎn)品質(zhì)量。
半導(dǎo)體濕法工藝中化學(xué)供給線的去離子水
- 通過內(nèi)置控制閥實(shí)現(xiàn)精確控制:內(nèi)置的控制閥能夠精確地調(diào)節(jié)和控制流體的流量,確保半導(dǎo)體濕法工藝中的化學(xué)供給線穩(wěn)定、準(zhǔn)確地提供所需的去離子水。
- 濕部件采用多種材質(zhì)以適應(yīng)不同類型的氣體和液體:根據(jù)所處理的氣體或液體的性質(zhì),濕部件(即與流體直接接觸的部件)可以采用不同的材質(zhì)制成,以確保流量計(jì)在各種化學(xué)環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐用性。這種設(shè)計(jì)使得該流量計(jì)能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法工藝中的各種化學(xué)供給線,滿足多樣化的流體測(cè)量需求。
流體:氣體、液體(粘度<5.0cP)
測(cè)量范圍:
- 水:最小3LPM(升每分鐘)/最大10LPM
- 氣體:最小50LPM(升每分鐘)/最大200LPM
準(zhǔn)確度:±3%滿量程
最大工作壓力:10巴
爆破壓力:25巴
工作溫度:0℃ ~ 50℃(短期可達(dá)90℃)