Xensor,XEN-3920,熱導率計

Xensor,XEN-3920,熱導率計,XEN-3920熱導率計用于測量周圍氣體的熱導率。它基于氣體在熱導率上的差異原理,可以用于測量二元混合氣體或準二元混合氣體中的氣體濃度,前提是混合氣體的組成氣體具有不同的熱導率。它還可以作為Pirani計用于測量真空系統中的壓力。

傳感器芯片由一個硅環和兩個氮化硅膜組成。每個膜的中心都有一個加熱器,以及一個傳感元件用于測量其溫度。芯片測量的是環境與膜中心之間的熱導率。

XEN-3920標準配置包括一個TO-5封裝,封裝內有芯片、覆蓋芯片的硅蓋以減少對氣流效應的敏感性,以及焊接在TO-5外殼上的帶過濾器的蓋子。芯片旁邊安裝有一個Pt100或Pt1000溫度傳感器,用于測量環境溫度。

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