Xensor,XEN-3920-P2RW,XEN-3880P3RW,熱導(dǎo)率計(jì),XEN-3920-PRW熱導(dǎo)率計(jì)用于測(cè)量周圍氣體的熱導(dǎo)率。其原理是不同氣體的熱導(dǎo)率不同，因此可以用來測(cè)量二元混合氣體或準(zhǔn)二元混合氣體中氣體的濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它還可以用于真空系統(tǒng)中的壓力測(cè)量。
傳感器芯片由一個(gè)硅框架和2個(gè)硅氮化物膜組成。每個(gè)膜的中心都有一個(gè)加熱器，熱電堆用來測(cè)量其溫度。芯片測(cè)量膜中心與周圍環(huán)境之間的熱導(dǎo)率。膜上方的硅蓋（Roof）和帶過濾器的焊接帽（W）可以抑制流動(dòng)敏感性。
特點(diǎn)
? 長期穩(wěn)定地分析二元和準(zhǔn)二元混合氣體中的氣體
? 高靈敏度和高分辨率
? 工作溫度：-250°C 至 150°C
? 濕度：0 至 95% RH，不結(jié)露
? 溫度測(cè)量：使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件
? 微不足道的流動(dòng)敏感性
技術(shù)規(guī)格
- 環(huán)境溫度：22°C，1 V電源供電
- 尺寸：裸芯片（mm3）2.50 x 3.33 x 0.3
- TO-5封裝尺寸（mm2）9 Φ x 6
- 引腳長度（mm）14
- TO-5封裝重量（g）0.72
- TO-5封裝 + 蓋子 + 過濾器重量（g）1.05
輸出
- 在真空下 < 1 mPa（V/W）：待定
- 在100 kPa空氣中（V/W）：42
- 在10 MPa空氣中（V/W）：待定
- 在100 kPa氦氣中（V/W）：待定
- 在10 MPa氦氣中（V/W）：待定
時(shí)間常數(shù)
- 在空氣中（毫秒）：9
- 在真空中（毫秒）：36
穩(wěn)定性
- 短期穩(wěn)定性，1天（ppm）：1
- 長期穩(wěn)定性，1年（ppm）：300
熱阻
- 膜（kK/W）：100
- 膜 + 空氣（kK/W）：23
最大加熱電壓
- 在空氣中（V）：2.5
- 在真空中（V）：1
一些應(yīng)用
? 氫氣、氦氣和天然氣測(cè)量
? 氫氣系統(tǒng)與氦氣測(cè)試
? 包裝和真空系統(tǒng)中的真空測(cè)量
? 氣體濃度測(cè)量
工作原理
XEN-3920通過測(cè)量熱電堆中心膜的熱電接點(diǎn)與芯片框架上的冷接點(diǎn)之間的熱阻來進(jìn)行測(cè)量。這是通過使用加熱電阻加熱膜中心來實(shí)現(xiàn)的。膜中心的溫度增加由熱電堆測(cè)量。實(shí)際的溫度增加取決于膜中心與周圍環(huán)境之間的有效熱阻，這受到環(huán)境氣體熱阻的影響。
外殼
XEN-3920-P2RW 或 P3RW可安裝在TO-5封裝中，特殊外殼可根據(jù)要求提供。右側(cè)膜標(biāo)記為-r，左側(cè)膜標(biāo)記為-l
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