Xensor,XEN-3920,熱導(dǎo)率計(jì)

Xensor,XEN-3920,熱導(dǎo)率計(jì),XEN-3920熱導(dǎo)率計(jì)用于測量周圍氣體的熱導(dǎo)率。它基于氣體在熱導(dǎo)率上的差異原理，可以用于測量二元混合氣體或準(zhǔn)二元混合氣體中的氣體濃度，前提是混合氣體的組成氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它還可以作為Pirani計(jì)用于測量真空系統(tǒng)中的壓力。

該傳感器芯片由一個硅環(huán)和兩個氮化硅膜組成。每個膜的中心都有一個加熱器，以及一個傳感元件用于測量其溫度。芯片測量的是環(huán)境與膜中心之間的熱導(dǎo)率。

XEN-3920標(biāo)準(zhǔn)配置包括一個TO-5封裝，封裝內(nèi)有芯片、覆蓋芯片的硅蓋以減少對氣流效應(yīng)的敏感性，以及焊接在TO-5外殼上的帶過濾器的蓋子。芯片旁邊安裝有一個Pt100或Pt1000溫度傳感器，用于測量環(huán)境溫度。

Xensor,XEN-3920,熱導(dǎo)率計(jì)
Xensor,XEN-3920,熱導(dǎo)率計(jì)

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