Xensor,XEN-3920-P2RW,XEN-3880P3RW,熱導率計,XEN-3920-PRW熱導率計用于測量周圍氣體的熱導率。其原理是不同氣體的熱導率不同，因此可以用來測量二元混合氣體或準二元混合氣體中氣體的濃度，其中組分氣體具有不同的熱導率。它還可以用于真空系統中的壓力測量。
傳感器芯片由一個硅框架和2個硅氮化物膜組成。每個膜的中心都有一個加熱器，熱電堆用來測量其溫度。芯片測量膜中心與周圍環境之間的熱導率。膜上方的硅蓋（Roof）和帶過濾器的焊接帽（W）可以抑制流動敏感性。
特點
? 長期穩定地分析二元和準二元混合氣體中的氣體
? 高靈敏度和高分辨率
? 工作溫度：-250°C 至 150°C
? 濕度：0 至 95% RH，不結露
? 溫度測量：使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件
? 微不足道的流動敏感性
技術規格
- 環境溫度：22°C，1 V電源供電
- 尺寸：裸芯片（mm3）2.50 x 3.33 x 0.3
- TO-5封裝尺寸（mm2）9 Φ x 6
- 引腳長度（mm）14
- TO-5封裝重量（g）0.72
- TO-5封裝 + 蓋子 + 過濾器重量（g）1.05
輸出
- 在真空下 < 1 mPa（V/W）：待定
- 在100 kPa空氣中（V/W）：42
- 在10 MPa空氣中（V/W）：待定
- 在100 kPa氦氣中（V/W）：待定
- 在10 MPa氦氣中（V/W）：待定
時間常數
- 在空氣中（毫秒）：9
- 在真空中（毫秒）：36
穩定性
- 短期穩定性，1天（ppm）：1
- 長期穩定性，1年（ppm）：300
熱阻
- 膜（kK/W）：100
- 膜 + 空氣（kK/W）：23
最大加熱電壓
- 在空氣中（V）：2.5
- 在真空中（V）：1
一些應用
? 氫氣、氦氣和天然氣測量
? 氫氣系統與氦氣測試
? 包裝和真空系統中的真空測量
? 氣體濃度測量
工作原理
XEN-3920通過測量熱電堆中心膜的熱電接點與芯片框架上的冷接點之間的熱阻來進行測量。這是通過使用加熱電阻加熱膜中心來實現的。膜中心的溫度增加由熱電堆測量。實際的溫度增加取決于膜中心與周圍環境之間的有效熱阻，這受到環境氣體熱阻的影響。
外殼
XEN-3920-P2RW 或 P3RW可安裝在TO-5封裝中，特殊外殼可根據要求提供。右側膜標記為-r，左側膜標記為-l
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