荷蘭Xensor Integration XEN-3920-P3RW熱導率傳感器,Xensor傳感器,氣體濃度檢測傳感器, Xensor Xen-3920

Xensor Integration XEN-3920 熱導率計測量周圍氣體的熱導率。它利用氣體導熱系數不同的原理，可用于測量組分氣體具有不同導熱系數的二元混合物或準二元混合物中的氣體濃度。它還可以用作皮拉尼壓力計來測量真空系統中的壓力。

傳感器芯片由帶有 2 個氮化硅膜的硅邊緣組成。每個膜的中心都有一個加熱器，并有一個傳感器元件測量其溫度。該芯片測量環境與膜中心之間的熱導率。

標準 XEN-3920 包括帶有芯片的 TO-5 接頭、芯片上方的頂部（硅蓋）以降低對流動效應的敏感性，以及焊接在 TO-5 外殼上的帶過濾器的蓋子。芯片旁邊是一個用于環境溫度測量的 Pt100 或 Pt1000。

Xensor Integration XEN-3920-P3RW 熱導率計測量原理：
Xensor XEN-3920測量薄膜中心的熱電堆熱結和芯片框架上的冷結之間的熱阻。這是通過使用加熱器電阻器加熱膜的中心來實現的。通過熱電堆測量中心的溫度升高。實際溫度升高取決于膜中心和環境之間的有效熱阻，這受到環境氣體熱阻的影響

Xensor Integration XEN-3920-P3RW 熱導率計主要應用：

. 氫氣、氦氣和天然氣測量

?用氦氣測試氫氣系統

?包裝和真空系統中的真空測量

?氣體濃度測量

Xensor Integration XEN-3920-P3RW 熱導率計主要特征：

?二元和準二元混合物中氣體的長期穩定分析

?高靈敏度和分辨率

?工作溫度：-250°C至150°C

?濕度：0至95%RH，非冷凝

?使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件進行溫度測量

?可忽略的流量靈敏度

Xensor Integration XEN-3920-P3RW 熱導率計性能

環境溫度22°C和1 V電源

尺寸

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size naked die (mm3) 2.50 x 3.33 x 0.3

Size TO-5 header (mm2) 9 Ф x 6

Length pins (mm) 14

weight on TO-5 (g) 0.72

weight on TO-5 + cap + filter (g) 1.05

輸出

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in vacuum at < 1 mPa (V/W) tbd

in air at 100 kPa (V/W) 42

in air at 10 MPa (V/W) tbd

in helium at 100 kPa (V/W) tbd

in helium at 10 MPa (V/W) tbd

時間常數

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in air (ms) 9

in vacuum (ms) 36

穩定性

short term, 1 day (ppm) 1

long term, 1 year (ppm) 300